全自動掃描電鏡(Automated Scanning Electron Microscope，ASEM)是利用電子束與樣品相互作用產(chǎn)生的信號來形成圖像。電子源會發(fā)射出高能電子，并通過電磁透鏡、磁聚束和掃描線圈將電子束聚焦并把它迅速地掃描在樣品表面。樣品與電子束相互作用時(shí)，會產(chǎn)生多種信號，如二次電子、背散射電子和X射線等。這些信號被探測器捕捉，然后轉(zhuǎn)化為電信號并被發(fā)送到計(jì)算機(jī)進(jìn)行處理。
全自動掃描電鏡的工作流程如下：
1.準(zhǔn)備樣品：將要觀察的樣品固定在支架上，并進(jìn)行必要的處理，如鍍金、切片、切割等。樣品表面應(yīng)盡量保持平整和潔凈。
2.調(diào)節(jié)電子束：通過調(diào)節(jié)電子源、透鏡和掃描線圈等參數(shù)，使電子束能夠達(dá)到所需的性能，如分辨率、深度、放大倍數(shù)等。
3.開始掃描：啟動，開始對樣品進(jìn)行掃描。掃描模式有兩種常用方式：連續(xù)掃描和點(diǎn)掃描。連續(xù)掃描方式下，電子束會在樣品表面不停的掃描，從而形成全景圖像；而點(diǎn)掃描方式下，電子束會逐點(diǎn)掃描，并記錄下每個(gè)點(diǎn)的信號，生成高分辨率的圖像。
4.信號檢測：使用相應(yīng)的探測器來檢測樣品產(chǎn)生的信號。二次電子信號是常用的信號類型，它反映了樣品表面的形貌特征；背散射電子信號則提供了更多的化學(xué)信息；X射線探測器則可以用于元素分析等應(yīng)用。
5.圖像處理和分析：采集到的信號通過電子學(xué)系統(tǒng)將其轉(zhuǎn)化為電信號并傳輸?shù)接?jì)算機(jī)上。計(jì)算機(jī)會對信號進(jìn)行處理和解析，然后形成對應(yīng)的圖像。利用圖像處理軟件，可以對圖像進(jìn)行增強(qiáng)、放大、測量和分析，以獲得所需的信息。
全自動掃描電鏡的應(yīng)用非常廣泛。它可以用于材料科學(xué)研究，例如表面形貌分析、粒子形態(tài)觀察和晶體結(jié)構(gòu)分析等。在生物科學(xué)領(lǐng)域，可以用于細(xì)胞和組織的形態(tài)學(xué)觀察，幫助研究人員了解生物樣品的微觀結(jié)構(gòu)和組織成分。此外，還可以應(yīng)用于納米技術(shù)研究、電子元件分析和環(huán)境監(jiān)測等領(lǐng)域。
