半導(dǎo)體電子顯微鏡不是像電子計(jì)算機(jī)的那種電氣化，而是用電子打在樣品上，用電子束成像。這主要是因?yàn)殡娮拥牟ㄩL(zhǎng)小，是可以觀測(cè)到更小尺寸的東西，否則會(huì)因?yàn)椴ǖ难苌浜透缮鏌o法分辨。用于半導(dǎo)體生產(chǎn)線的過程控制，為當(dāng)時(shí)的半導(dǎo)體器件微細(xì)化做出了貢獻(xiàn)。
電子透鏡用來聚焦電子，是電子顯微鏡鏡筒中zui重要的部件。一般使用的是磁透鏡，有時(shí)也有使用靜電透鏡的。它用一個(gè)對(duì)稱于鏡筒軸線的空間電場(chǎng)或磁場(chǎng)使電子軌跡向軸線彎曲形成聚焦，其作用與光學(xué)顯微鏡中的光學(xué)透鏡（凸透鏡）使光束聚焦的作用是一樣的，所以稱為電子透鏡。
半導(dǎo)體電子顯微鏡的電子束不穿過樣品，僅以電子束盡量聚焦在樣本的一小塊地方，然后一行一行地掃描樣本。入射的電子導(dǎo)致樣本表面被激發(fā)出次級(jí)電子。電子顯微鏡的制造是依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用。當(dāng)一束高能的入射電子轟擊物質(zhì)表面時(shí)，被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子、透射電子，以及在可見、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射。
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